Photolithography를 이용한 pattern형성
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작성일 20-12-08 07:33
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(500rpm : 10초, 3000rpm : 30초, 1000rpm :10초)
③PR을 굳히기 위해 Soft baking(110℃) 15분 정도 건조
④스스로 그린 Pattern을 기판위에 올려놓고 UV lignt를 노광(2.5초)
⑤PR을 제거하기 위해 Developer에 기판을 담그고, DI water로 세척
⑥세척후 Hard baking(130℃)에서 약 10분 정도 건조
⑦Cr etchant에 dipping하여 경과를 보면서 Cr을 제거
⑧제거 후 Pattern이 된 부분의 PR을 제거하기위해 Stripper에 dipping하여 제거
6.experiment(실험) 결과 및 고찰
-PR의 종류에 따라 형성되는 모양을 생각해 보자
광원의 단파장화에 따른 광원의 개발과 더불어, 그에 상응하는 레지스트의 개발은 중요하다.(500rpm : 10초, 3000rpm : 30초, 1000rpm :10초)...
1.experiment(실험)タイトル(제목) : Photolithography를 이용한 pattern형성
2.experiment(실험)목적 : Photolithography에 사용하는 각 공定義(정의) 원리와 공정시 주의점을 알 수 있다아
3.experiment(실험)기구, 장비, 재료 :
-Cr 증착된 기판
-Developer, Stripper, Cr etchant
4.Photolithography 공정 순서
Cleaning -] PR coating -] Soft Baking -] Mask align & Exposure -] Develop -] Hard baking -] Cr etching -] Strip
5.experiment(실험)방법 :
①Cr이 증착된 기판 Cleaning을 한다.(Isopropyl alcohol에 약 10분 가량 Ultra sonic처리 -]DI water -]gas로 drying)
②Spin coater위에 기판을 올리고 진공 잡은 후 PR을 뿌리고 코팅을 한다. 광원의 단파장화는 레지스트의 고감도화를 요구한다.
용해도 變化
Positive형, Negative형
reaction 형태
극성變化형, 해중합형, 가교형, 중합형
구성 成分수
1成分, 2成分, 3成分
광원
g-line(436nm), i…(투비컨티뉴드 )
다.
Photolithography를 이용한 pattern형성
Photolithography를 이용한 pattern형성
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Photolithography를 이용한 pattern형성 , Photolithography를 이용한 pattern형성기타실험결과 , Photolithography를 이용한 pattern형성
실험결과/기타
순서
설명
Photolithography를,이용한,pattern형성,기타,실험결과
1.experiment(실험)タイトル(제목) : Photolithography를 이용한 pattern형성
2.experiment(실험)목적 : Photolithography에 사용하는 각 공定義(정의) 원리와 공정시 주의점을 알 수 있다아
3.experiment(실험)기구, 장비, 재료 :
-Cr 증착된 기판
-Developer, Stripper, Cr etchant
4.Photolithography 공정 순서
Cleaning -` PR coating -` Soft Baking -` Mask align & Exposure -` Develop -` Hard baking -` Cr etching -` Strip
5.experiment(실험)방법 :
①Cr이 증착된 기판 Cleaning을 한다.(Isopropyl alcohol에 약 10분 가량 Ultra sonic처리 -`DI water -`gas로 drying)
②Spin coater위에 기판을 올리고 진공 잡은 후 PR을 뿌리고 코팅을 한다.
